【&Buzzの口コミニュース】次世代パワー半導体向け材料で期待…「β型酸化ガリウム結晶」の高速成長を実現した|ニュースイッチ by 日刊工業新聞社

&Buzzのサイエンスニュース

研究チームは、東京農工大学の熊谷義直教授らと大陽日酸との共同で、次世代パワー半導体向け材料である高純度のβ型酸化ガリウム結晶の高速成長を実現しました。この成果は、有機金属気相エピタキシャル成長(MOVPE)法を利用して達成されました。β型酸化ガリウムパワー半導体の量産技術が実用化されることにより、省エネルギー社会の実現が期待されます。

研究チームは、自身の結晶成長炉内の反応解析結果に基づき、不純物である炭素の混入がない高純度なβ型酸化ガリウム結晶の高速成長を実証しました。これまで、MOVPE法による高速な結晶成長には、ガリウムの有機金属化合物と酸素の激しい反応性や、炭素や水素といった不純物の汚染の問題があり、ほとんど研究されていませんでした。

現在稼働しているMOVPE装置は、最大2インチ径のウエハーに対応しています。今後は意図的に不純物を添加した混晶成長技術の検討を進め、β型酸化ガリウムパワー半導体の実用化に貢献することを目指します。

この研究成果は、β型酸化ガリウム結晶の高速成長に関する革新的な知見を提供し、次世代パワー半導体の実現に大いに期待できます。独自の結晶成長炉内の反応解析結果に基づく高純度な結晶成長技術の実証は、量産技術の実用化への重要な一歩となります。今後、この技術をさらに発展させることで、エネルギー効率の高い半導体の開発が実現し、省エネルギー社会の実現に寄与することが期待されます。&Buzzとしては、この研究チームの成果を見守りながら、次世代パワー半導体の発展に期待しています。

この &Buzzニュースは、Newswitch.jpのニュースをAndbuzzが独自にまとめたもの。

コメント

タイトルとURLをコピーしました